GRISH抛光垫
GRISH抛光垫具有极佳的互相连接的微孔结构,在进行抛光处理时能具备优异的抛光稳定性、耐磨性和优异的浆料保持性,广泛应用于晶片、玻璃、金属和陶瓷的高平坦化加工。
| 产品规格: | | |
项目 Items | 产品规格 Specifications | 测量方法 Test Method |
厚度 Thickness(mm) | 1.4±0.1 | 游标卡尺测量 Vernier caliper |
硬度 Thickness | 60±2 | 邵氏(A)硬度计测量 Shore A durometer |
孔深 Hole depth(mm) | 0.37 | 显微镜放大200倍 Magnified by a microscope 200 times |
压缩率 Compression ratio | 9% | __ |
绒长 Fiber length(mm) | 0.4±0.05 | 显微镜放大200倍 Magnified by a microscope 200 times |
尺寸 Size(mm) | Φ920±2 | 卷尺测量 Tape Measure |
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备注1:可根据顾客需求提供不同厚度、尺寸的抛光垫产品;
备注2:可根据顾客需要进行开槽和背胶处理。
产品特点:
1、质地细腻、平整度优异、不脱毛;
2、高去除速率;
3、优异的抛光重复性,表现稳定;
4、抛光后可以达到无划痕、无橘皮的镜面效果。
应用领域:
GRISH抛光垫用于蓝宝石、硅晶片等硬脆材料的终道CMP抛光,也可用于不锈钢、铝合金等金属材料的镜面抛光。





公司名称:北京国瑞升科技股份有限公司
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公司网站:http://www.bjgrish.com